以手動探針臺為例，探針臺的使用方式為：

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上；

2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品；

3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下；

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心；

5.待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸；

6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。

以森美協(xié)爾的SH系列高配置分析探針臺為例

?背電極測試功能：樣品臺電學獨立懸空

?U型平臺，多可放置12個針座

?平臺可以快速升降，行程 6mm，并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um

?顯微鏡快速傾仰30度 ，移動精度1um

?光學顯微鏡20~4000X放大

?機械精度0.1微米

?X-Y-Z行程：12mm-12mm-12mm

可選附件：

激光微加工/探針卡夾具/顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件/液晶熱點偵測套裝/高壓/大電流測試套裝/加熱臺/高低溫樣品臺/屏蔽箱/轉(zhuǎn)接頭/防震臺/鍍金卡盤/同軸叁軸卡盤/光強/波長測試選件/射頻測試附件/有源探頭/低電流/電容測試/兼容積分球測試選件/光纖夾具耦合測試選件/封裝器件夾具/PCB/封裝夾具測試選件/特殊定制

除此之外，SH高配置系列還具有幾大亮點看點

?氣控式卡盤移動技術(shù)

通過對應的氣浮開關(guān)，提供3種快速移動方式：單手控制X/Y方向快速移動，雙手控制樣品臺全平面快速移動；

與普通的氣浮式樣品臺相比，SH的氣浮式移動既能輕松快速的移動拉出樣品臺裝載晶圓，又能在X/Y方向?qū)蝹€DIE進行精準定位測試，實現(xiàn)高效的晶圓測試。

?大手柄微分頭驅(qū)動

卡盤移動平臺配有粗調(diào)與精調(diào)功能，精調(diào)旋鈕Mitutoyo大手柄驅(qū)動微分頭，相比傳統(tǒng)的小型微分頭調(diào)節(jié)，操作手感更舒適、調(diào)節(jié)更順暢且無回程差，手動高效測試，全面提升測試效率，節(jié)約客戶測試成本。

?三段式升降針座平臺

三段式針座平臺快速升降（0，300um,3mm）+微調(diào)(40mm,移動分辨率2~5um)，x-y-z三方向重復性優(yōu)于±1um ，可重復（1μm）的針座平臺有三個離散位置，用于接觸，分離（300μm）和裝載（3 mm），并帶有安全鎖裝置，可防止探頭或晶圓意外損壞的同時，提供直觀的控制和準確的接觸定位，實現(xiàn)準確的測量效果，該功能在高頻與大功率測試中至為重要。

?顯微鏡氣控式升降調(diào)節(jié)

?氣浮式自動平衡防震桌

?可加載激光器

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