探針臺(tái)
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高低溫真空探針臺(tái)CGO-4-N
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產(chǎn)品詳情
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特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ 2至6英寸樣品臺(tái)
◆ 高真空腔體
◆ 防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境
◆ 兼容IV/CV/RF測(cè)試
◆ 外置多探針臂，移動(dòng)行程大
◆ 經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無(wú)縫升級(jí)
技術(shù)指標(biāo)
· 總重約200KG
· 尺寸:950mmW×800mmD×600mmH
· 直徑為8英寸的真空腔體，帶高紅外透射率，高可見(jiàn)光透射觀察窗
· 直徑為4英寸大小的樣品臺(tái),平整度5微米
· 4個(gè)探針臂接口，*多可做6個(gè)
· 一個(gè)KF40真空抽氣口，一個(gè)快速破真空進(jìn)氣口
· 同軸制冷劑入口，能夠提高使用冷劑效率
· 制冷劑回流冷卻輻射屏回路
· KF法蘭接口，系統(tǒng)極限真空優(yōu)于10^-5Torr（配分子泵時(shí)）；系統(tǒng)極限真空優(yōu)于10^-3Torr（配機(jī)械泵時(shí)）
· 漏率優(yōu)于：1*10^-10Pa.M3/s
· 常溫降溫至80K的時(shí)間優(yōu)于：30mins
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