探針臺(tái)
您只需一個(gè)電話我們將提供合適的產(chǎn)品,合理的價(jià)格,達(dá)到優(yōu)質(zhì)的效果
- 咨詢電話
- 18612002522
推薦產(chǎn)品
咨詢熱線:
18612002522
聯(lián)系:馬經(jīng)理
郵箱:manfred_mah@163.com
地址:北京市海淀區(qū)阜成路58號(hào)新洲商務(wù)大廈407A室-
產(chǎn)品詳情
-
聯(lián)系我們
特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ *大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜
◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì),可無縫升級(jí)
◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
技術(shù)指標(biāo)
? 6" 卡盤,平整度5um,采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,可用于測(cè)試6寸,4寸及以下wafer或芯片,3圈均獨(dú)立控制,中心吸附孔*小可以選擇250微米
? U型針座放置平臺(tái)微調(diào)升降25mm,精度1um,手輪調(diào)節(jié)
? 卡盤臺(tái)X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,精度:10micron,均帶鎖死旋鈕
? 顯微鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)采用龍門結(jié)構(gòu)式,雙絲桿導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng),X-Y行程是:2英寸*2英寸,移動(dòng)精度為:1微米
? 快速傾仰結(jié)構(gòu),便于切換物鏡,自帶鎖定(可選顯微鏡氣動(dòng)升降功能)
? 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
? 增大型U型臺(tái)面,可以同時(shí)容納10個(gè)探針座
? 采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜
? 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
訂購:非真空高低溫探針臺(tái)CT-8