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特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ *大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

◆ 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

◆ 針座平臺(tái)快速、微調(diào)升降功能

◆ 可搭配多種類型顯微鏡

◆ 晶片測(cè)試、光電器件測(cè)試、PCB/IC測(cè)試、射頻測(cè)試、高壓大電流測(cè)試等

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無(wú)縫升級(jí)

◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制

技術(shù)指標(biāo)

? 總重約 150千克

? 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH

? 12" 卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨(dú)立控制，中心吸附孔*小可以選擇250微米

? 卡盤平整度: 5μm, 標(biāo)準(zhǔn)卡盤可360度無(wú)間隙旋轉(zhuǎn)

? 卡盤X/Y軸無(wú)間隙移動(dòng)，大手柄旋轉(zhuǎn)控制，行程：12英寸X 12英寸，移動(dòng)精度：1um，并帶鎖死裝置

? Y軸可快速抽拉，方便取放樣品

? 平臺(tái)帶氣浮型快移功能，可快速定位

? 可調(diào)節(jié)顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內(nèi)移動(dòng),精度1微米（系統(tǒng)不包含顯微鏡） 

? 顯微鏡一鍵氣動(dòng)升降，可快速進(jìn)行物鏡切換

? 平臺(tái)快速升降行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能

? 平臺(tái)上下微調(diào)行程25mm，升降精度1um

? 平臺(tái)可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位                                   

? 臺(tái)體不含顯微鏡，顯示器