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特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ 適用于I-V/C-V測(cè)試的微型定位器

◆ 體積小,節(jié)省空間的設(shè)計(jì),緊湊的足跡

◆ 直線運(yùn)動(dòng)-精密機(jī)加工滑翔確保運(yùn)動(dòng)線性

◆ 高剛性結(jié)構(gòu),彈簧載荷X-Y-Z,穩(wěn)定無(wú)間隙

◆ 線性移動(dòng),磁性吸附

◆  L型夾具固定裝置,方便操作

技術(shù)指標(biāo)

?  磁力底座

?  X-Y-Z方向的移動(dòng)行程分別為13mm

?  40牙/英寸

?  精度10微米

?  L型夾具固定裝置,方便操作


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