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特點(diǎn)/應(yīng)用

◆CSA-8型自動(dòng)對(duì)位探針臺(tái)能對(duì)晶片實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)位測(cè)試，操作簡(jiǎn)單，快捷，

◆測(cè)試精度高，具有MAP顯示功能。

◆它與測(cè)試儀連接后，能自動(dòng)完成對(duì)各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能測(cè)試 

技術(shù)指標(biāo)

? 8英寸半自動(dòng)探針臺(tái)，手動(dòng)上片，自動(dòng)測(cè)試                                                                                                                        

? 總重約 800千克

? 外形尺寸： 1200mm×1000mm×1600mm（長(zhǎng)×寬×高 ）

? 臺(tái)體采用微腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效降低電磁干擾，光干擾對(duì)測(cè)試的影響；可兼容高低溫測(cè)試

? X-Y軸采用先進(jìn)的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，行程：250mm*350mm，X-Y軸移動(dòng)分辨率：0.1μm，X-Y軸重定位精度：≤±1μm，X-Y移動(dòng)速度：≥80mm/sec

?  Z軸采用高精度4導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，有效保證負(fù)載和垂直度，行程：20mm，Z軸移動(dòng)分辨率：0.1um，Z軸重定位精度：≤±1μm，Z軸移動(dòng)速度：≥20mm/sec

?  Theta軸采用高精度DD馬達(dá)，角度行程：±10°，Theta角度分辨率：0.00018°

? 系統(tǒng)采用雙相機(jī)對(duì)位和成像

? 兼容針卡和探針座

? 掃描對(duì)準(zhǔn)時(shí)間：≤20S

? 樣品固定方式：多孔真空吸附，分區(qū)獨(dú)立控制，可吸附4、6、8英寸晶圓

? 空氣薄膜減震系統(tǒng)，有效隔絕外界抖動(dòng)                                         

? 自動(dòng)測(cè)量Die size及生成map圖

? 可測(cè)試圓片，測(cè)試范圍可選，任意wafer map 編輯

? CCD自動(dòng)掃描對(duì)準(zhǔn)功能

? 自動(dòng)MARK點(diǎn)，(0,0)點(diǎn)定位功能，一鍵可完成測(cè)試

? 自動(dòng)抽測(cè)功能，可支持單點(diǎn)或連續(xù)測(cè)試

? 具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定

? 具備離線打點(diǎn)、脫機(jī)打點(diǎn)功能

? 支持壞點(diǎn)重測(cè)

? 良品、不良品、合格率、測(cè)試速率顯示

? 通訊接口：R232/485/TCP/IP/GPIB

? 操作界面：Windows中文操作界面，中文MAPING動(dòng)態(tài)顯示