探針臺(tái)
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中端探針臺(tái) CL-6
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產(chǎn)品詳情
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特點(diǎn) / 應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等.
◆ *大可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)
◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用
技術(shù)指標(biāo)
? 6"卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨(dú)立控制，中心吸附孔*小可以選擇250微米
? 卡盤平整度:5μm,標(biāo)準(zhǔn)卡盤可360度無間隙旋轉(zhuǎn)
? 卡盤X/Y軸無間隙移動(dòng)，行程：6英寸X6英寸，移動(dòng)精度：5um，并帶鎖死裝置
? 平臺(tái)快速升降行程8mm，微調(diào)精度1um并帶自動(dòng)鎖定功能
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面2"x2"范圍內(nèi)移動(dòng),精度1微米（系統(tǒng)不包含顯微鏡）
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡，帶自動(dòng)鎖定功能
? 平臺(tái)可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位
? 臺(tái)體不含顯微鏡
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