探針臺
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小型探針臺 CS-4
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產(chǎn)品詳情
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特點/應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等
◆ *大可用于6英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用
◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實惠。
技術(shù)指標(biāo)
? 4"卡盤，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個開關(guān)獨立控制
? 卡盤X-Y的移動范圍4''X4''，移動精度：10微米
? 卡盤可以360度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于0.1度，帶有鎖定旋鈕
? 卡盤可以升降，行程8mm，微調(diào)精度1um，帶鎖死裝置
? Chuck可以附加獨立的校準(zhǔn)片載臺，以符合未來擴(kuò)展射頻量測的需求。
? 顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉(zhuǎn)式設(shè)計，便于快速移動顯微鏡，顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺
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